1. 产品简介
钛含量≥：99.8（%)杂质含量：0.02（%）
牌号： TA1，TA2，TA3，TC4(Ti6AL4V)，GR1，GR2，GR3，GR5( Ti6AL4V)
钛圆靶 ：技术条件：符合GB/T2695-1996，ASTMB348-97
钛板靶 ：技术条件：符合GB/T3621-94，ASTM B265-93
用途：用于半导体分离器件、平面显示器、储存器电极薄膜、溅射镀膜、工件表面涂层，玻璃镀膜工业
2. 产品规格
圆靶：常用规格：60/65/95/100*30/32/40/45mm
板靶：(8-25)mm * (150-300) mm * (1000-2500)mm
管靶： 70mm * 7mm/10mm
3. 材质
TA1（Grade 1）、Zr1、Ta1、Mo1、Ni6
4. 性能标准
化学成分符合 GB/T 3621-2007，GB/T 2965-2007，GB/T 3625-2007 等标准。
5. 标准值
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化学成分参考标准
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牌号
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Al
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V
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N≤
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C≤
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H≤
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Fe≤
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O≤
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其他元素（单一）
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其他元素（总和）
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TA1
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0.03
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0.08
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0.015
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0.20
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0.18
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0.1
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0.40
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TA2
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0.03
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0.08
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0.015
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0.30
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0.25
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0.1
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0.40
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TC4
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5.5-6.75
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3.5-4.5
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0.05
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0.08
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0.015
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0.30
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0.20
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0.1
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0.40
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机械性能参考标准
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牌号
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室温下力学性能，不小于
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抗拉强度
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屈服强度
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伸长率
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断面收缩率
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TA1
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240 MPa
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170MPa
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25%
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30%
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TA2
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345MPa
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275 MPa
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20%
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30%
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TC4
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895MPa
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825 MPa
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10%
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20%
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